单晶生长炉是一种用于生长单晶体的设备,在半导体、光学、电子等多个领域有着至关重要的作用,主要包括以下几个方面: 1.半导体材料制备:在半导体行业,单晶硅是制造集成电路芯片的关键材料。单晶生长炉通过正确控制温度、气氛、拉速等参数,能够生长出大尺寸、高纯度、低缺陷的单晶硅锭。这些单晶硅锭经过切割、研磨、抛光等后续加工工序,制成硅片,为芯片制造提供基础材料。高质量的单晶硅对于提高芯片的性能、降低功耗以及提高成品率具有决定性作用。
单晶生长炉具有以下特点: 1.正确控制方面 温度正确:能够将温度控制在非常正确的范围内,比如直拉法生长硅单晶时,要将石英坩埚内多晶硅原料加热到 1450℃以上并保持稳定。热场温度分布的正确度直接影响晶体生长的质量,若温度波动过大,可能导致晶体产生缺陷、杂质分布不均匀等问题。
超高温烧结炉具有以下特点: 1.高温特性 超高温度范围:超高温烧结炉最显著的特点就是能够提供较高的温度环境,一般可达到 1800℃以上,甚至部分优良设备能突破 3000℃,如采用石墨发热体结合特殊隔热材料的烧结炉,可满足碳化硼、氮化硼等超硬材料以及一些难熔金属的烧结需求。